產品介紹

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高純度濺鍍靶材

高純度濺鍍靶材

純度 99.999% 以上的濺鍍靶材,適用於先進製程薄膜沉積。

產品介紹
規格說明
應用範圍

採用真空熔煉與等靜壓成型製程,晶粒結構均勻,可有效降低薄膜缺陷率並延長靶材壽命。

純度:99.999%(5N)

尺寸:可依製程需求客製

形式:平面靶/旋轉靶

半導體薄膜沉積

光電鍍膜

先進封裝金屬層

產品介紹

採用真空熔煉與等靜壓成型製程,晶粒結構均勻,可有效降低薄膜缺陷率並延長靶材壽命。

規格說明
應用範圍

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